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百级精密电子半导体无尘车间工程案例 工程名称:上海某半导体科技有限公司工程内容:百万级净化工程 行业类别:精密电子净化工程一、■ 工程施工进展步骤!1.隔墙⑴隔墙材质为: 50mmt手工岩棉彩钢板,彩钢板厚度为0.476mm。⑵洁净厂房的建
百级精密电子半导体无尘车间工程案例
工程名称:上海某半导体科技有限公司
工程内容:百万级净化工程
行业类别:精密电子净化工程
一、■ 工程施工进展步骤!
1.隔墙
⑴隔墙材质为: 50mmt手工岩棉彩钢板,彩钢板厚度为0.476mm。
⑵洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,采取可靠的气密性处理。板与板之间的板缝为2-3mm,须打中性环保硅胶。
⑶洁净室内墙壁表面平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘。
2.吊顶
吊顶材质为:50mmt手工岩棉彩钢板,彩钢板厚度为0.476mm,吊顶高度 4.5m。
3.门窗
⑴门窗的位置除注明者外,门窗开洞应开在整板上。
⑵门窗采用铝合金材料,门使彩钢板门;窗使用透明玻璃。
⑶视窗安装高度根据现场实际情况而定。
⑷所有门窗确保仔细核对规格、数量后订货。
4.其他:
4.1.除图中注明外,其余均遵照《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010的要求。
4.2.管线安装时,预埋件及开孔较多,彩钢板安装时应与暖通、弱电等专业施工安装人员配合,安有关专业图纸要求确保预埋件和开孔位置与尺寸正确,以保证工程综合质量。
4.3.彩钢板安装过程中,需要设置检修通道,以方便相关专业检修工作。
二、洁净室的净化工程的空调设备、空调系统的清扫:
①调试之前对洁净室进行全面、彻底的清扫是十分必要的。对洁净室的地面、墙面、吊顶、门窗进行认真、全面、彻底的大扫除(最好请专业的清洁公司);对空调设备、空调管道(送风管、回风管、新风管),空调配件(清声器、阀门、风口等)进行检查、检漏和擦试。达到洁净要求为止。
②安装粗效、中效过滤器进行第一次空吹。在彻底清扫的基础上,安装空调器内的粗效和中效过滤器。对整个净化空调系统进行空吹,空吹时间为24~36小时,使整个系统得到初步的净化。
③安装高效过滤器。系统空吹后可以安装高效过滤器。高效过滤器在安装之前,要求对其逐一进行检漏,对有泄漏者进行堵漏。检漏在临时检漏台上进行,尘源利用大气尘。被检合格的高效过滤器方能进行安装,安装完毕后对高效过滤器的安装密封再进行检漏(利用尘埃粒子计数器扫描),达到安装合格。
④高效过滤器安装检漏合格后再对净化空调系统进行第二次空吹。空吹时间24小时,然后方可进行入调试程序。
5、洁净室的净化工程测试仪器、仪表、工具的准备
①调试前要对调试中所用的仪器仪表进行调试和标定(超过使用时间还需重新进行标定)。所用的仪表包括测量风速、风量、温度、相对湿度、压差、噪声、振动、转数、时间、大气压力和洁净度的仪器仪表等。
②调试所用的器材、工具的准备。如:电工工具、管工工具、扳金工工具、钳工工具以及爬高上下的梯子等。并且请施工单位配合电工、管工、扳金工和钳工。
③调试和测试工作所用的图纸和记录表格的准备。